Instituto Geológico y Minero de España |
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Título: | SINTESIS DE CAPAS DE SIC EN SUBSTRATO DE SI MEDIANTE IMPLANTACION IONICA |
Autor/es: | PEREZ-RODRIGUEZ, A. ROMANO-RODRIGUEZ, A. SERRE, C. CALVO-BARRIO, L. CABEZAS, R. MORANTE, J. R. |
Edición: | 1997 |
Título Revista: | BOLETIN DE LA SOCIEDAD ESPAÑOLA DE CERAMICA Y VIDRIO |
Volumen: | 36 |
Número: | 2-3 |
Paginas: | 316-320 |
ISSN: | 0366-3175 |
Descriptor: | síntesis estructura cristalina cambio iónico cristaloquímica cristalografía estructural carburo silicio |