|
Instituto Geológico y Minero de España |
|
|
|
|
|
|
|
| Título: | LAMINAS DELGADAS AISLANTES DERIVADAS DEL SILICIO DEPOSITADAS MEDIANTE LA TECNICA ECR-CVD |
| Autor/es: | GARCIA, S. MARTIL, I. GONZALEZ-DIAZ, G. |
| Edición: | 1997 |
| Título Revista: | BOLETIN DE LA SOCIEDAD ESPAÑOLA DE CERAMICA Y VIDRIO |
| Volumen: | 36 |
| Número: | 2-3 |
| Paginas: | 264-270 |
| ISSN: | 0366-3175 |
| Descriptor: | lámina delgada estructura cristalina propiedad óptica composición mineralógica silicio defecto cristalino aislante enlace interatómico resonancia |