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Título:CARACTERIZACION ESTRUCTURAL MEDIANTE ELIPSOMETRIA ESPECTRAL DE MULTICAPAS BASADAS EN SIO2
Autor/es:GARRIGA, M.
ALONSO, M.I.
Edición: 2000
Título Revista:BOLETIN DE LA SOCIEDAD ESPAÑOLA DE CERAMICA Y VIDRIO
Volumen:39
Número:6
Paginas:729-734
ISSN:0366-3175
Descriptor:óxido
espectro
propiedad óptica
silicio
simulación numérica
cristalografía estructural
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