Instituto Geológico y Minero de España |
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Título: | LAMINAS DELGADAS AISLANTES DERIVADAS DEL SILICIO DEPOSITADAS MEDIANTE LA TECNICA ECR-CVD |
Autor/es: | GARCIA, S. MARTIL, I. GONZALEZ-DIAZ, G. |
Edición: | 1997 |
Título Revista: | BOLETIN DE LA SOCIEDAD ESPAÑOLA DE CERAMICA Y VIDRIO |
Volumen: | 36 |
Número: | 2-3 |
Paginas: | 264-270 |
ISSN: | 0366-3175 |
Descriptor: | lámina delgada estructura cristalina propiedad óptica composición mineralógica silicio defecto cristalino aislante enlace interatómico resonancia |