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Título:LAMINAS DELGADAS AISLANTES DERIVADAS DEL SILICIO DEPOSITADAS MEDIANTE LA TECNICA ECR-CVD
Autor/es:GARCIA, S.
MARTIL, I.
GONZALEZ-DIAZ, G.
Edición: 1997
Título Revista:BOLETIN DE LA SOCIEDAD ESPAÑOLA DE CERAMICA Y VIDRIO
Volumen:36
Número:2-3
Paginas:264-270
ISSN:0366-3175
Descriptor:lámina delgada
estructura cristalina
propiedad óptica
composición mineralógica
silicio
defecto cristalino
aislante
enlace interatómico
resonancia
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